激光技术

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157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响

戴玉堂, 崔健磊, 徐刚, 白帆

2011, 35(1): 36-38,85. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.011

关键词: 激光技术, 157nm激光, 激光参量, 刻蚀效率, 刻蚀质量

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基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工

白帆, 戴玉堂, 徐刚, 崔建磊

2010, 34(5): 636-639. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.016

关键词: 激光技术, 157nm深紫外激光, 扫描刻蚀, 打孔, 微加工, 蓝宝石基片

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深紫外激光对GaN薄膜的激光抛光研究

陈赛华, 戴玉堂, 肖翔, 丁莉云

2012, 36(1): 13-15,36. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.01.004

关键词: 激光技术, 深紫外激光, GaN薄膜, 激光抛光, 微平面, 表面粗糙度

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